传感技术学报2009，Vol.22Issue(9)：1261-1265,5.
检测电压对一种新型谐振式微加速度计的影响
The Influence of the Sensing Voltage for a Novel Type Resonant Micro-Accelerometer
摘要
关键词
微机械电子系统/微加速度计/检测电压/静电刚度分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
刘恒,张富堂,张凤田,何晓平,苏伟..检测电压对一种新型谐振式微加速度计的影响[J].传感技术学报,2009,22(9):1261-1265,5.基金项目
国防预研项目资助 （）
中国工程物理研究院科学技术发展基金资助(200980403044) （200980403044）
