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MEMS微电容式传感器的传感特性研究

王庆敏 杨要恩 苏木标 刘玉红

传感技术学报2009，Vol.22Issue(10)：1396-1400,5.
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传感技术学报2009，Vol.22Issue(10)：1396-1400,5.

MEMS微电容式传感器的传感特性研究

Study on Sensing Characteristics of Micro Capacitive Sensor Based on MEMS

王庆敏 1杨要恩 2苏木标 1刘玉红1

作者信息

  • 1. 石家庄铁道学院,河北省大型结构健康诊断与控制重点实验室,石家庄050043
  • 2. 石家庄铁路工程职业技术学院机电系,石家庄050041
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摘要

关键词

MEMS传感器/静态传感特性/动态传感特性/线性度/灵敏度

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

王庆敏,杨要恩,苏木标,刘玉红..MEMS微电容式传感器的传感特性研究[J].传感技术学报,2009,22(10):1396-1400,5.

基金项目

铁道部攻关项目资助(2007G028) （2007G028）

河北省攻关项目资助(08963523D) （08963523D）

传感技术学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-1699

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