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硅微机械陀螺表头温度特性研究与测试

夏国明 王寿荣 杨波

测控技术2009,Vol.28Issue(9):9-13,5.
测控技术2009,Vol.28Issue(9):9-13,5.

硅微机械陀螺表头温度特性研究与测试

Research and Test on Silicon Micro-Gyroscope Temperature Characteristics

夏国明 1王寿荣 1杨波1

作者信息

  • 1. 东南大学仪器科学与工程学院,江苏,南京,210096
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摘要

关键词

硅微机械陀螺/温度特性/微小电容测量

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

夏国明,王寿荣,杨波..硅微机械陀螺表头温度特性研究与测试[J].测控技术,2009,28(9):9-13,5.

测控技术

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-8829

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