测控技术2000，Vol.19Issue(3)：9-11,3.
微机电系统(MEMS)技术的应用:微结构气敏传感器
Applications of Micro-electro-mechanical Systems:Microstructure Gas Sensors
刘笃仁 1徐毓龙2
作者信息
- 1. 西安电子科技大学电子工程学院,710071
- 2. 西安电子科技大学技术物理学院,710071
- 折叠
摘要
关键词
微机电系统技术/微结构气敏传感器/硅材料/聚合物分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
刘笃仁,徐毓龙..微机电系统(MEMS)技术的应用:微结构气敏传感器[J].测控技术,2000,19(3):9-11,3.
