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溅射方式对NbN薄膜结构及热稳定性的影响

张宏森 丁明惠 张丽丽 蒋保江

材料科学与工程学报2010，Vol.28Issue(3)：458-462,5.
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材料科学与工程学报2010，Vol.28Issue(3)：458-462,5.

溅射方式对NbN薄膜结构及热稳定性的影响

Influence of Sputtering method on Microstructure and Thermal Stability of NbN Diffusion Barrier

张宏森 1丁明惠 2张丽丽 2蒋保江3

作者信息

  • 1. 黑龙江科技学院现代分析测试研究中心,黑龙江,哈尔滨,150027
  • 2. 哈尔滨工程大学材料科学与化学工程学院,黑龙江,哈尔滨,150001
  • 3. 黑龙江大学化学化工与材料学院,黑龙江,哈尔滨,150086
  • 折叠

摘要

关键词

NbN薄膜/扩散阻挡层/Cu互连/磁控溅射

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

张宏森,丁明惠,张丽丽,蒋保江..溅射方式对NbN薄膜结构及热稳定性的影响[J].材料科学与工程学报,2010,28(3):458-462,5.

基金项目

国家自然科学基金资助项目(50773014),黑龙江省教育厅资助项目(11541282) （50773014）

材料科学与工程学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1673-2812

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