电子学报1998，Vol.26Issue(11)：77-84,8.
硅微电子技术物理极限的挑战
The Challenges for Physical Limitations in Si Microelectronics
王阳元 1韩汝琦 1刘晓彦 1康晋锋1
作者信息
- 1. 北京大学微电子研究所,北京,100871
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摘要
关键词
硅微电子技术/CMOS/基本物理极限/实际物理限制/量子电子器件分类
数理科学引用本文复制引用
王阳元,韩汝琦,刘晓彦,康晋锋..硅微电子技术物理极限的挑战[J].电子学报,1998,26(11):77-84,8.
