电子学报1999，Vol.27Issue(7)：79-81,3.
新型a-Si:H三脉冲准分子激光晶化法的研究
Research on a Novel Triple Pulse Excimer Laser Crystallization Method of a-Si:H
摘要
关键词
激光晶化/固化速率/晶粒尺寸/三脉冲激光晶化法分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
吴春亚,张建军,耿新华,孙钟林..新型a-Si:H三脉冲准分子激光晶化法的研究[J].电子学报,1999,27(7):79-81,3.基金项目
该项目得到国家自然科学基金(No.59572034)和南开大学自然科学基金的资助 （No.59572034）
