硅酸盐通报2009，Vol.28Issue(z1)：33-36,4.
氧气的相对流量对磁控溅射制备TiO2薄膜性质的影响
Effect of Relative Flow Rate of O2 on Properties of TiO2 Film Prepared by the Magnetron Sputtering
张明福 1沈海涛 1岳春英 1韩杰才 1王野 1王晓红1
作者信息
引用本文复制引用
张明福,沈海涛,岳春英,韩杰才,王野,王晓红..氧气的相对流量对磁控溅射制备TiO2薄膜性质的影响[J].硅酸盐通报,2009,28(z1):33-36,4.
