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微波等离子体化学气相沉积β-C3N4超硬膜的研究

张永平 顾有松 常香荣 田中卓 时东霞 马立平 张秀芳 袁磊

河北科技大学学报1999，Vol.20Issue(4)：1-4,4.
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河北科技大学学报1999，Vol.20Issue(4)：1-4,4.

微波等离子体化学气相沉积β-C3N4超硬膜的研究

Studies of β-C3N4 Ultrahard Films Deposited by MPCVD

张永平 1顾有松 1常香荣 1田中卓 1时东霞 2马立平 2张秀芳 2袁磊2

作者信息

  • 1. 北京科技大学材料物理系,北京,100083
  • 2. 中国科学院北京真空物理实验室
  • 折叠

摘要

关键词

C3N4/微波等离子体化学气相沉积法/薄膜沉积/超硬材料

分类

通用工业技术

引用本文复制引用

张永平,顾有松,常香荣,田中卓,时东霞,马立平,张秀芳,袁磊..微波等离子体化学气相沉积β-C3N4超硬膜的研究[J].河北科技大学学报,1999,20(4):1-4,4.

基金项目

国家自然科学基金资助课题(19674009) （19674009）

河北科技大学学报

1008-1542

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