航空材料学报2009，Vol.29Issue(5)：61-65,5.
射频磁控溅射法制备聚氟薄膜及其性能研究
Preparation and Performance Study of Polyfluorin Thin Film by Radio Frequency Magnetron Sputtering Method
摘要
关键词
聚氟材料/射频磁控溅射/电子二次倍增效应分类
化学化工引用本文复制引用
高原,秦晓刚,郭云,刘惠涛..射频磁控溅射法制备聚氟薄膜及其性能研究[J].航空材料学报,2009,29(5):61-65,5.基金项目
真空低温技术与物理国家级重点实验室基金资助项目(9140C550201060C55) （9140C550201060C55）
