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PI 电容湿度传感器的研制

吴正元 陈涛 陈萍丽

华中理工大学学报1999，Vol.27Issue(4)：46-48,3.
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华中理工大学学报1999，Vol.27Issue(4)：46-48,3.

PI 电容湿度传感器的研制

Development of Humidity Sensors of PI Capacitive

吴正元 1陈涛 1陈萍丽1

作者信息

  • 1. 华中理工大学电子科学与技术系
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摘要

关键词

聚酰亚胺薄膜/电容式湿度传感器/集成电路光刻工艺

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

吴正元,陈涛,陈萍丽..PI 电容湿度传感器的研制[J].华中理工大学学报,1999,27(4):46-48,3.

华中理工大学学报

OA北大核心

1671-4512

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