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大孔径内孔表面金刚石薄膜涂层的制备

郑华 孙方宏 彭东辉

金刚石与磨料磨具工程Issue(5):13-16,22,5.
金刚石与磨料磨具工程Issue(5):13-16,22,5.

大孔径内孔表面金刚石薄膜涂层的制备

Fabrication of diamond films on the interior surface of large hole

郑华 1孙方宏 1彭东辉2

作者信息

  • 1. 上海交通大学机械与动力工程学院,上海,200240
  • 2. 上海化工研究院,上海,200062
  • 折叠

摘要

关键词

金刚石薄膜/衬底预处理/热丝化学气相沉积

分类

化学化工

引用本文复制引用

郑华,孙方宏,彭东辉..大孔径内孔表面金刚石薄膜涂层的制备[J].金刚石与磨料磨具工程,2009,(5):13-16,22,5.

基金项目

上海市科技创新行动计划重点项目 (No. 075211016) (No. 075211016)

上海市科技创新行动计划专项 (No. 08DZ0501700) (No. 08DZ0501700)

金刚石与磨料磨具工程

OA北大核心CSTPCD

1006-852X

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