金刚石与磨料磨具工程Issue(5):13-16,22,5.
大孔径内孔表面金刚石薄膜涂层的制备
Fabrication of diamond films on the interior surface of large hole
摘要
关键词
金刚石薄膜/衬底预处理/热丝化学气相沉积分类
化学化工引用本文复制引用
郑华,孙方宏,彭东辉..大孔径内孔表面金刚石薄膜涂层的制备[J].金刚石与磨料磨具工程,2009,(5):13-16,22,5.基金项目
上海市科技创新行动计划重点项目 (No. 075211016) (No. 075211016)
上海市科技创新行动计划专项 (No. 08DZ0501700) (No. 08DZ0501700)