|国家科技期刊平台
| 注册
首页|期刊导航|轻工机械|化学机械抛光用抛光垫的修整对修整效果的影响因素

化学机械抛光用抛光垫的修整对修整效果的影响因素

华钱锋 方海生 袁巨龙

轻工机械2009，Vol.27Issue(5)：48-51,4.
✕
轻工机械2009，Vol.27Issue(5)：48-51,4.

化学机械抛光用抛光垫的修整对修整效果的影响因素

Influencing Factors of Conditioning Effect about Polishing Pad Conditioning for Chemical Mechanical Polishing

华钱锋 1方海生 2袁巨龙1

作者信息

  • 1. 浙江工业大学,机械制造与自动化教育部重点实验室,浙江,杭州,310014
  • 2. 浙江机电职业技术学院,机电技术训练中心,浙江,杭州,310053
  • 折叠

摘要

关键词

化学机械抛光/抛光垫/修整

分类

矿业与冶金

引用本文复制引用

华钱锋,方海生,袁巨龙..化学机械抛光用抛光垫的修整对修整效果的影响因素[J].轻工机械,2009,27(5):48-51,4.

基金项目

国家自然科学基金重点项目(50535040) （50535040）

轻工机械

OACSTPCD

1005-2895

访问量3
|
下载量0
段落导航相关论文