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MOCVD生长温度对氧化锌薄膜结构及发光性能的影响

王振华 杨安丽 刘祥林 魏鸿源 焦春美 朱勤生 杨少延 王占国

人工晶体学报2010,Vol.39Issue(1):34-38,43,6.
人工晶体学报2010,Vol.39Issue(1):34-38,43,6.

MOCVD生长温度对氧化锌薄膜结构及发光性能的影响

Effect of Growth Temperature on the Structural and Optical Properties of ZnO Films Grown by MOCVD

王振华 1杨安丽 1刘祥林 1魏鸿源 1焦春美 1朱勤生 1杨少延 1王占国1

作者信息

  • 1. 中国科学院半导体研究所半导体超晶格国家重点实验室,北京,100083
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摘要

关键词

ZnO/甲醇/MOCVD/生长温度

Key words

ZnO/methanol/MOCVD/growth temperature

分类

数理科学

引用本文复制引用

王振华,杨安丽,刘祥林,魏鸿源,焦春美,朱勤生,杨少延,王占国..MOCVD生长温度对氧化锌薄膜结构及发光性能的影响[J].人工晶体学报,2010,39(1):34-38,43,6.

基金项目

Project supported by the National Natural Science Foundation of China (No.60506002,60776015) (No.60506002,60776015)

the Special Funds for Major State Basic Research Project (973) of China (No.2006CB604907) (973)

the 863 High Technology R & D Program of China (No.2007AA03Z402, 2007AA03Z451) (No.2007AA03Z402, 2007AA03Z451)

人工晶体学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-985X

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