人工晶体学报2010，Vol.39Issue(1)：139-143,5.
沉积压强对Sc掺杂ZnO薄膜性能的影响
Effects of Deposition Pressure on the Properties of Sc-doped ZnO Thin Films
摘要
关键词
射频磁控溅射/SZO薄膜/溅射压强/透明导电氧化物Key words
radio frequency magnetron sputtering (RF-MS)/scandium-doped ZnO(SZO) thin films/sputtering pressure/transparent conducting oxide(TCO)分类
数理科学引用本文复制引用
缪存星,赵占霞,栗敏,徐飞,马忠权..沉积压强对Sc掺杂ZnO薄膜性能的影响[J].人工晶体学报,2010,39(1):139-143,5.基金项目
上海市教育委员会科研创新项目(No.09YZ23) （No.09YZ23）
