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交替中间热处理BST薄膜介电性能研究

廖家轩 魏雄邦 潘笑风 张佳 傅向军 王洪全

无机材料学报2009,Vol.24Issue(5):962-966,5.
无机材料学报2009,Vol.24Issue(5):962-966,5.DOI:10.3724/SP.J.1077.2009.00962

交替中间热处理BST薄膜介电性能研究

Study of Dielectric Properties of BST Films Preheated Alternately

廖家轩 1魏雄邦 1潘笑风 1张佳 1傅向军 1王洪全1

作者信息

  • 1. 电子科技大学,电子科学技术研究院,成都,610054
  • 折叠

摘要

关键词

中间热处理/交替中间热处理/钛酸锶钡薄膜/介电性能

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

廖家轩,魏雄邦,潘笑风,张佳,傅向军,王洪全..交替中间热处理BST薄膜介电性能研究[J].无机材料学报,2009,24(5):962-966,5.

基金项目

博士点基金 (20060614021) (20060614021)

四川省应用基础研究(2008JY0057) (2008JY0057)

电子科技大学中青年学术带头人培养计划(Y02018023601053) (Y02018023601053)

无机材料学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-324X

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