物理学报2010，Vol.59Issue(4)：2479-2484,6.
柔性悬臂电磁驱动光开关的仿真与制作
Simulation and fabrication of flexible cantilever electromagnet actuated optical switch
摘要
关键词
微光机电系统/光开关/柔性悬臂梁/电磁驱动Key words
micro-opto-electromechanical system/optical switch/flexible cantilever beam/electromagnetic actuation引用本文复制引用
徐大伟,梁中翥,梁静秋,李伟,李小奇,孙智丹,王维彪..柔性悬臂电磁驱动光开关的仿真与制作[J].物理学报,2010,59(4):2479-2484,6.基金项目
国家自然科学基金(批准号:60578036)和吉林省科技发展计划(批准号:20080343,20080122)资助的课题. （批准号:60578036）
