物理学报2009，Vol.58Issue(9)：6430-6435,6.
不同射频输入功率下制备的氟化类金刚石碳膜疏水性研究
Hydrophobic nature of fluorinated diamond-like carbon films prepared under different radio-frequency power
朱丽 1江美福 1宁兆元 1杜记龙 1王培君1
作者信息
- 1. 苏州大学物理科学与技术学院,苏州,215006
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摘要
关键词
疏水性/反应磁控溅射/氟化类金刚石膜/射频功率引用本文复制引用
朱丽,江美福,宁兆元,杜记龙,王培君..不同射频输入功率下制备的氟化类金刚石碳膜疏水性研究[J].物理学报,2009,58(9):6430-6435,6.
