西安工程大学学报2009，Vol.23Issue(4)：150-153,4.
磁控溅射制备纳米Ni-Al薄膜的表面粗糙度和电阻率的研究
Study on surface roughness and resistivity of nano Ni-Al by magnetron sputtering
王晶 1余花娃1
作者信息
- 1. 西安工程大学,理学院,陕西,西安,710048
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摘要
关键词
Ni-Al薄膜/磁控溅射/粗糙度/电阻率分类
数理科学引用本文复制引用
王晶,余花娃..磁控溅射制备纳米Ni-Al薄膜的表面粗糙度和电阻率的研究[J].西安工程大学学报,2009,23(4):150-153,4.
