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参数化方法在微机械谐振器设计中的应用

谢志江 程力旻 刘恒

现代科学仪器Issue(5):38-42,5.
现代科学仪器Issue(5):38-42,5.

参数化方法在微机械谐振器设计中的应用

Parameterization Design of the Duble-ended Tuning Fork Micro-resinators

谢志江 1程力旻 1刘恒2

作者信息

  • 1. 重庆大学机械工程学院,重庆,400050
  • 2. 重庆大学通信工程学院,重庆,400050
  • 折叠

摘要

关键词

双端固定音叉/谐振器/参数模型/谐振频率

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

谢志江,程力旻,刘恒..参数化方法在微机械谐振器设计中的应用[J].现代科学仪器,2009,(5):38-42,5.

基金项目

国防预研项目 ()

现代科学仪器

OACSTPCD

1003-8892

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