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高反膜镀制工艺研究的新进展

邓婷 黄光周 刘雄英 朱建明 戴晋福

真空电子技术Issue(3):30-36,7.
真空电子技术Issue(3):30-36,7.

高反膜镀制工艺研究的新进展

New Progress of Fabrication Technologies for High Reflectance Coating in Laser's Resonant Cavity

邓婷 1黄光周 1刘雄英 1朱建明 2戴晋福2

作者信息

  • 1. 华南理工大学电子与信息学院,广东,广州,510640
  • 2. 广东肇庆市科润真空设备有限公司,广东,肇庆,526060
  • 折叠

摘要

关键词

高反膜/反射率/制备工艺/损伤阈值

分类

数理科学

引用本文复制引用

邓婷,黄光周,刘雄英,朱建明,戴晋福..高反膜镀制工艺研究的新进展[J].真空电子技术,2009,(3):30-36,7.

真空电子技术

OACSTPCD

1002-8935

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