真空电子技术Issue(3)：40-43,4.
磁镜场在直接耦合式微波等离子体化学气相沉积金刚石膜制备装置中的应用
Application of a Magnetic Mirror in Direct Coupler MPCVD Diamond Film Preparation Device
摘要
关键词
微波等离子体/化学气相沉积/金刚石膜/磁镜场分类
数理科学引用本文复制引用
杜康,徐伟,吴智量,贺中信,彭军..磁镜场在直接耦合式微波等离子体化学气相沉积金刚石膜制备装置中的应用[J].真空电子技术,2009,(3):40-43,4.基金项目
广州市属高校科技计划项目(62002) （62002）
