中南大学学报（自然科学版）2010，Vol.41Issue(1)：156-160,5.
采用热丝化学气相沉积法制备SiCN薄膜的研究
Silicon carbon nitride thin film produced by hot-filament chemical vapor deposition
摘要
关键词
SiCN薄膜/热丝化学气相沉积法(HFCVD)/原子力显微镜(AFM)/X线衍射谱(XRD)/X线光电子能谱(XPS)分类
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赵武,屈亚东,张志勇,贠江妮,樊玎玎..采用热丝化学气相沉积法制备SiCN薄膜的研究[J].中南大学学报（自然科学版）,2010,41(1):156-160,5.基金项目
陕西省自然科学基金资助项目(SJ08-ZT05) （SJ08-ZT05）
陕西省教育厅专项科研计划项目(08JK450) （08JK450）
西北大学研究生创新基金资助项目(07YZZ29) （07YZZ29）
