中南大学学报（自然科学版）2010，Vol.41Issue(1)：184-189,6.
一种提高芯片与基板对准精度的方法
A method for improving alignment precision of chip and substrate
摘要
关键词
热超声倒装键合/图像抖动/相关函数/亚像素/曲面拟合/梯度函数分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
韩雷,张丽娜,王福亮,李军辉,张亚楠..一种提高芯片与基板对准精度的方法[J].中南大学学报（自然科学版）,2010,41(1):184-189,6.基金项目
国家重点基础研究发展规划("973"计划)项目(2009CB724203) （"973"计划）
国家02重大专项基金资助项目(2009ZX02038) （2009ZX02038）
