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掺硼浓度对问歇法生长硼掺杂纳米金刚石膜的影响

姜兆炎 彭鸿雁 姜宏伟 尹龙承 胡巍

牡丹江师范学院学报:自然科学版Issue(3):19-21,3.
牡丹江师范学院学报:自然科学版Issue(3):19-21,3.

掺硼浓度对问歇法生长硼掺杂纳米金刚石膜的影响

姜兆炎 1彭鸿雁 1姜宏伟 1尹龙承 1胡巍1

作者信息

  • 1. 牡丹江师范学院新型炭基功能与超硬材料省重点实验室,黑龙江牡丹江157011
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摘要

关键词

直流热阴极/PCVD/间歇式/硼酸三甲酯

分类

物理学

引用本文复制引用

姜兆炎,彭鸿雁,姜宏伟,尹龙承,胡巍..掺硼浓度对问歇法生长硼掺杂纳米金刚石膜的影响[J].牡丹江师范学院学报:自然科学版,2011,(3):19-21,3.

基金项目

黑龙江省自然科学基金项目 ()

黑龙江省科技攻关项目 ()

金刚石薄膜电极电化学性能研究 ()

牡丹江师范学院学报:自然科学版

1003-6180

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