牡丹江师范学院学报:自然科学版Issue(3):19-21,3.
掺硼浓度对问歇法生长硼掺杂纳米金刚石膜的影响
姜兆炎 1彭鸿雁 1姜宏伟 1尹龙承 1胡巍1
作者信息
- 1. 牡丹江师范学院新型炭基功能与超硬材料省重点实验室,黑龙江牡丹江157011
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摘要
关键词
直流热阴极/PCVD/间歇式/硼酸三甲酯分类
物理学引用本文复制引用
姜兆炎,彭鸿雁,姜宏伟,尹龙承,胡巍..掺硼浓度对问歇法生长硼掺杂纳米金刚石膜的影响[J].牡丹江师范学院学报:自然科学版,2011,(3):19-21,3.基金项目
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黑龙江省科技攻关项目 ()
金刚石薄膜电极电化学性能研究 ()