Journal of Changshu Institute of Technology2011，Vol.25Issue(4)：32-34,3.
微波等离子体CVD金刚石膜的温度效应
Effects of Temperature on Diamond Films Synthesized by MPCVD
顾利萍 1曹永浩 2熊安邦1
作者信息
- 1. 常熟理工学院,物理与电子工程学院,江苏常熟,215500
- 2. 江苏省新型功能材料重点建设实验室,江苏常熟,215500
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摘要
关键词
微波等离子体CVD/金刚石膜/温度分类
数理科学引用本文复制引用
顾利萍,曹永浩,熊安邦..微波等离子体CVD金刚石膜的温度效应[J].Journal of Changshu Institute of Technology,2011,25(4):32-34,3.
