微电子机械系统数字地震检波器模拟方法的研究OA北大核心CSCDCSTPCD
Research on the Analogy Method of Micro-electro-mechanical System Digital Geophone
在地下资源勘探中，地震检波器是一种将机械振动转化为电信号的专用检波器。主要从MEMS数字检波器的内部结构和工作原理入手，提出一种MEMS传感器内部结构的模拟方法。该方法采用脉宽调制发生器、二极管、控制电压和常量等模块模拟可变差动电容，运用可编程模块S-function实现地震信号的输入，输出电路由传递函数、零阶保持器和模数转换等模块组成。该模拟方法可以调节系统中的各个参数，为硬件的设计提供更多的依据。输入地震信号与输出信号的对比可见该模拟方法能够…查看全部>>
In the underground mineral resources exploration,the geophone is a special sensor which can translate the mechanical vibration into the electrical signal.This paper researches on the micro-electro-mechanical system（MEMS） digital geophone which is the one of the most advanced geophones at present.Based on the analysis of the internal structure and work principle of MEMS digital geophone,a simulation method of MEMS sensor′s internal structure is proposed.The P…查看全部>>
张晓丹;柯熙政;张志禹;张琦
西安理工大学自动化与信息工程学院,西安710048西安理工大学自动化与信息工程学院,西安710048西安理工大学自动化与信息工程学院,西安710048西安理工大学自动化与信息工程学院,西安710048
机械制造
MEMS数字地震检波器传感器差动电容地震信号
MEMSdigital geophonesensordifferential capacitorseismic signal
《机械科学与技术》 2011 (9)
FSO中空时编码的关键技术研究及其实现
1592-1596,5
国家自然科学基金项目（60977054）资助
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