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退火气氛对SrTiO3薄膜电学性能的影响

王晓飞 胡秋波

河南科技大学学报(自然科学版)2011,Vol.32Issue(4):5-7,3.
河南科技大学学报(自然科学版)2011,Vol.32Issue(4):5-7,3.

退火气氛对SrTiO3薄膜电学性能的影响

王晓飞 1胡秋波2

作者信息

  • 1. 河南科技大学物理与工程学院,河南洛阳471003
  • 2. 洛阳理工学院数理部,河南洛阳471023
  • 折叠

摘要

关键词

SrTiO3/漏电流/介电常数/介电损耗

分类

物理学

引用本文复制引用

王晓飞,胡秋波..退火气氛对SrTiO3薄膜电学性能的影响[J].河南科技大学学报(自然科学版),2011,32(4):5-7,3.

基金项目

国家自然科学基金项目(50972056) (50972056)

河南科技大学博士科研启动基金项目 ()

河南科技大学学报(自然科学版)

OA北大核心CSTPCD

1672-6871

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