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温度对高甲烷含量下直流热阴极PCVD法制备纳米金刚石膜的影响

昊春雷 郑友进 王明磊 张军 姜宏伟 刘艳凤

牡丹江师范学院学报:自然科学版Issue(4):26-27,2.
牡丹江师范学院学报:自然科学版Issue(4):26-27,2.

温度对高甲烷含量下直流热阴极PCVD法制备纳米金刚石膜的影响

昊春雷 1郑友进 1王明磊 1张军 1姜宏伟 1刘艳凤1

作者信息

  • 1. 牡丹江师范学院黑龙江省新型炭基功能与超硬材料重点实验室,黑龙江牡丹江157011
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摘要

关键词

直流热阴极/PCVD/纳米金刚石膜

分类

化学化工

引用本文复制引用

昊春雷,郑友进,王明磊,张军,姜宏伟,刘艳凤..温度对高甲烷含量下直流热阴极PCVD法制备纳米金刚石膜的影响[J].牡丹江师范学院学报:自然科学版,2011,(4):26-27,2.

基金项目

基金项目:黑龙江省研究生创新科研项目 ()

牡丹江师范学院学报:自然科学版

1003-6180

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