天津师范大学学报（自然科学版）2011，Vol.31Issue(3)：45-48,4.
离子束辅助沉积法制备TiAlN/TiB2纳米多层膜的研究
Synthesis and characterization of TiAIN/TiB2 multilayers prepared by ion beam assisted deposition
摘要
关键词
离子束辅助沉积/TiA1N/TiB2纳米多层膜/硬度分类
矿业与冶金引用本文复制引用
孙延东,颜景岳,张帅,董磊,曹猛,刘梦寅,李德军..离子束辅助沉积法制备TiAlN/TiB2纳米多层膜的研究[J].天津师范大学学报（自然科学版）,2011,31(3):45-48,4.基金项目
国家自然科学基金资助项目(50872094) （50872094）
天津市应用基础及前沿技术研究计划重点项目"以硼化物为主的高硬纳米层或梯度强化膜的设计与合成"(2012) （2012）
