天津师范大学学报（自然科学版）2012，Vol.32Issue(1)：31-34,38,5.
采用不同功率溅射制备氧化钛薄膜的研究
Study on titanium oxide films deposited at different sputtering powers
摘要
关键词
溅射功率/磁控溅射/氧化钛薄膜/光学性能分类
矿业与冶金引用本文复制引用
王丽格,黄美东,李洪玉,张琳琳,佟莉娜,杜姗..采用不同功率溅射制备氧化钛薄膜的研究[J].天津师范大学学报（自然科学版）,2012,32(1):31-34,38,5.基金项目
国家自然科学基金资助项目(61078059) （61078059）
天津师范大学创新计划资助项目(52X09038) （52X09038）
