铌酸锂光波导制作工艺进展OA北大核心
Advances in manufacturing processes for lithium niobate waveguides
文章综述了几种常用的铌酸锂波导的制作工艺,包括表面外扩散、金属内扩散、离子交换和质子交换,并分析、比较和总结了在不同工艺制作的条件下对铌酸锂光波导的性能造成的不同影响.目前,获得高质量光波导的主要途径是Ti扩散和质子交换.同时,文章对逐渐建立起的铌酸锂波导光学特性和结构特性之间的理论关系也进行了介绍.
赵明璐;王定理;马卫东
光纤通信技术和网络国家重点实验室,湖北武汉430074武汉光迅科技股份有限公司,湖北武汉430074光纤通信技术和网络国家重点实验室,湖北武汉430074
信息技术与安全科学
铌酸锂光波导工艺
《光通信研究》 2012 (2)
35-38,4
国家科技支撑计划资助项目(2009BAH49B03)
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