一种TiAlN多层膜制备新方法OACHSSCD
A new method for preparation of TiAIN multilayer films
采用自行设计制造的离子束联合溅射系统,将磁控溅射与离子注入技术相结合,在镁合金表面形成多层TiAlN强化膜.用金相显微镜、X射线衍射仪、原子力显微镜、摩擦磨损仪等手段,研究了多层膜的表面形貌、结构和性能.结果表明,TiAlN膜膜表面光滑致密、孔隙率大大降低,粗糙度为42.28 nm,由TiAlN强化相组成；成膜后耐磨性有所提高,但摩擦系数变化不大,未达到减摩作用.
The TiAlN multilayer films were coated on the surface of magnesium alloy by using a novel multi-periodic composite processing technology. The surface morphology, the microstructure and the property of TiAlN multilayer films were analyzed by using an optical microscope, an X-ray diffraction, an atomic force microscope and a friction-abrasion testing machine. The results show that the TiAlN multilayer film formed on magnesium alloy possesses a smooth and compa…查看全部>>
李根;张高会;徐鹏;乔宪武;于明州;施远驰;司平占
中国计量学院理学院,浙江杭州310018中国计量学院理学院,浙江杭州310018中国计量学院理学院,浙江杭州310018中国计量学院理学院,浙江杭州310018中国计量学院理学院,浙江杭州310018中国计量学院理学院,浙江杭州310018中国计量学院理学院,浙江杭州310018
金属材料
镁合金磁控溅射离子注入
magnesium alloy magnetron sputtering ion implantation
《中国计量学院学报》 2012 (2)
193-197,5
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