材料与冶金学报2012，Vol.11Issue(2)：102-104,110,4.
沉积压力对磁控溅射Mg薄膜结构的影响
Effects of deposition pressure on Mg thin film during magnetron sputtering
摘要
关键词
磁控溅射/Mg薄膜/沉积压力分类
矿业与冶金引用本文复制引用
毛飞雄,刘涛,于景坤..沉积压力对磁控溅射Mg薄膜结构的影响[J].材料与冶金学报,2012,11(2):102-104,110,4.基金项目
国家自然科学基金资助(No.50904016). （No.50904016）
