大学化学2012，Vol.27Issue(3)：1-8,8.
电化学微／纳米加工技术
张杰 1贾晶春 1朱益亮 1韩联欢 1袁野 1时康 1周剑章 2田昭武 2田中群 2詹东平2
作者信息
- 1. 厦门学化学化工学院化学系,福建厦门361005
- 2. 厦门学化学化工学院化学系,福建厦门361005 厦门大学固体表面物理化学国家重点实验室福建,厦门361005
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摘要
关键词
微／纳米加工技术/电化学微／纳米加工/约束刻蚀剂层技术分类
化学化工引用本文复制引用
张杰,贾晶春,朱益亮,韩联欢,袁野,时康,周剑章,田昭武,田中群,詹东平..电化学微／纳米加工技术[J].大学化学,2012,27(3):1-8,8.基金项目
基金资助：国家自然科学基金 （）
中央高校基本科研业务费专项资金 （）
