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具有C轴取向Al3+掺杂型ZnO薄膜的溶胶-凝胶法制备及其性能研究OA北大核心CSCDCSTPCD

The study on the preparation of Al3 + doped ZnO thin films with [002] oriented by sol-gel method and its properties

中文摘要英文摘要

以乙二醇甲醚为溶剂,采用Sol-Gel法制备出具有C轴取向、可导电的Al3+离子掺杂ZnO透明薄膜,并利用场发射扫描电镜、X-射线衍射、能谱分析、标准四探针和反射光谱仪等对薄膜的组成、结构和光学性能进行了分析.结果表明:Al3+离子掺杂ZnO薄膜为六方纤锌矿型结构,由六棱柱状阵列构成,具有C轴择优取向;薄膜电阻率随Al3+离子掺杂浓度的升高而降低;在可见光区域,薄膜透光率随Al3+离子掺杂浓度的升高而降低,掺杂3% ZnO薄膜的透光率达到90%左…查看全部>>

The aluminum-doped ZnO thin films with [002] oriented were prepared using 2-methoxyethan as a solvent system by the sol-gel method. The composition, structure and optical properties were studied by means of Scanning Electron Microscopy ( SEM ), X-ray Diffraction (XRD) , Energy-dispersive X-ray microanalysis (EDX) and Spectral shape. The results showed that the ZnO films are hexagonal wurtrite structure, which consists of hexagonal rods growing along …查看全部>>

郑春满;宋植彦;魏海博;帖楠;谢凯

国防科技大学航天与材料工程学院,湖南长沙410073国防科技大学航天与材料工程学院,湖南长沙410073国防科技大学航天与材料工程学院,湖南长沙410073国防科技大学航天与材料工程学院,湖南长沙410073国防科技大学航天与材料工程学院,湖南长沙410073

化学化工

溶胶-凝胶ZnO薄膜Al3+离子掺杂制备

Sol-Gel ZnO thin film Aluminum-doped preparation

《国防科技大学学报》 2012 (3)

33-37,5

湖南省自然科学基金资助项目(10JJ4045)国防科技大学校预研资助项目(JC08-01-06)

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