天津师范大学学报（自然科学版）2012，Vol.32Issue(2)：41-45,5.
偏压对电弧镀TiN薄膜结构和机械性能的影响
Effects of negative bias on structure and mechanical properties of TiN coatings by arc ion plating
摘要
关键词
电弧离子镀/TiN薄膜/偏压/机械性能分类
矿业与冶金引用本文复制引用
佟莉娜,黄美东,孟凡宇,刘野,许世鹏,薛利..偏压对电弧镀TiN薄膜结构和机械性能的影响[J].天津师范大学学报（自然科学版）,2012,32(2):41-45,5.基金项目
国家自然科学基金资助项目(61078059) （61078059）
天津师范大学推进计划资助项目(52X09038) （52X09038）
