天津师范大学学报（自然科学版）2012，Vol.32Issue(3)：33-35,3.
溅射氧化钛薄膜的光学性能及热处理对其结构的影响
Optical properties of titanium oxide film by magnetron sputtering and influence of heat treatment on its structure
摘要
关键词
氧化钛薄膜/磁控溅射/折射率/退火处理分类
数理科学引用本文复制引用
蒋甜甜,黄美东,杜姗..溅射氧化钛薄膜的光学性能及热处理对其结构的影响[J].天津师范大学学报（自然科学版）,2012,32(3):33-35,3.基金项目
天津师范大学学术创新推进计划资助项目(52X09038) （52X09038）
