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溶胶-凝胶法制备PZT薄膜及其物性特性分析

唐立军 梁庭

中北大学学报(自然科学版)2012,Vol.33Issue(5):595-597,3.
中北大学学报(自然科学版)2012,Vol.33Issue(5):595-597,3.DOI:10.3969/j.issn.1673-3193.2012.05.022

溶胶-凝胶法制备PZT薄膜及其物性特性分析

Properties of PZT Thin Films Fabricated by Sol-Gel Processing

唐立军 1梁庭1

作者信息

  • 1. 中北大学电子测试技术国家重点实验室,山西太原030051
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摘要

关键词

锆钛酸铅薄膜/热释电/Raman/溶胶凝胶

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

唐立军,梁庭..溶胶-凝胶法制备PZT薄膜及其物性特性分析[J].中北大学学报(自然科学版),2012,33(5):595-597,3.

基金项目

国家863重大资助项目(2006AA040601) (2006AA040601)

中北大学学报(自然科学版)

OA北大核心CSTPCD

1673-3193

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