东南大学学报（英文版）2012，Vol.28Issue(3)：310-314,5.DOI:10.3969/j.issn.1003-7985.2012.03.010
一种新型纳机电硅谐振器的频率响应特性
Frequency response of a new kind of silicon nanoelectromechanical systems resonators
摘要
关键词
纳机电系统/谐振频率/过腐蚀/纳米梁Key words
nanoelectromechanical system/resonant frequency/over-etching/nano-beam分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
于虹,袁为民,刘春胜,岳东旭,吴士杰,顾勇,陈志远,黄庆安..一种新型纳机电硅谐振器的频率响应特性[J].东南大学学报（英文版）,2012,28(3):310-314,5.基金项目
The National High Technology Research and Development Program of China (863 Program) (No.2007AA04Z301). （863 Program）
