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基于MEMS加工工艺的同轴腔体滤波器设计

王研 郭晨 蒋延生 张安学

空间电子技术2012，Vol.9Issue(4)：108-112,122,6.
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空间电子技术2012，Vol.9Issue(4)：108-112,122,6.DOI:10.3969/j.issn.1674-7135.2012.04.020

基于MEMS加工工艺的同轴腔体滤波器设计

Design of Coaxial Cavity Filter Based on MEMS Processing

王研 1郭晨 2蒋延生 1张安学1

作者信息

  • 1. 西安交通大学电信学院,西安710049
  • 2. 长安大学信息工程学院,西安710064
  • 折叠

摘要

关键词

同轴腔体滤波器/MEMS加工工艺/方同轴线/联合仿真

引用本文复制引用

王研,郭晨,蒋延生,张安学..基于MEMS加工工艺的同轴腔体滤波器设计[J].空间电子技术,2012,9(4):108-112,122,6.

基金项目

博士后基金项目资助(编号:20110491639) （编号:20110491639）

中央高校基本科研业务费(编号:CHD2011JC049,CHD2011ZD004). （编号:CHD2011JC049,CHD2011ZD004）

空间电子技术

1674-7135

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