发光快报1994，Vol.15Issue(1)：P.71-73,3.
Er离子注入GaP,GaAs,InP的二次离子质谱(SIMS)的研究
陈辰嘉 1王学忠 1周必忠 2陈世帛 2雷红兵 2李仪 3李菊生 3BottazziP4
作者信息
- 1. 北京大学物理系,北京100871
- 2. 厦门大学物理系,厦门361005
- 3. 中国科学院长春物理研究所,长春130021
- 4. C.N.R.-Centro
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摘要
关键词
离子注入/铒/二次离子质谱/砷化镓分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
陈辰嘉,王学忠,周必忠,陈世帛,雷红兵,李仪,李菊生,BottazziP..Er离子注入GaP,GaAs,InP的二次离子质谱(SIMS)的研究[J].发光快报,1994,15(1):P.71-73,3.
