|国家科技期刊平台
| 注册
首页|期刊导航|传感技术学报|不同淀积温度多晶硅纳米薄膜的压阻特性

不同淀积温度多晶硅纳米薄膜的压阻特性

揣荣岩 刘晓为 潘慧艳 王蔚 张颍

传感技术学报2006，Vol.19Issue(5B)：P.1810-1814,5.
✕
传感技术学报2006，Vol.19Issue(5B)：P.1810-1814,5.

不同淀积温度多晶硅纳米薄膜的压阻特性

揣荣岩 1刘晓为 1潘慧艳 1王蔚 1张颍1

作者信息

  • 1. 哈尔滨工业大学MEMS中心
  • 折叠

摘要

关键词

多晶硅/纳米薄膜/压阻特性/淀积温度/应变系数

分类

数理科学

引用本文复制引用

揣荣岩,刘晓为,潘慧艳,王蔚,张颍..不同淀积温度多晶硅纳米薄膜的压阻特性[J].传感技术学报,2006,19(5B):P.1810-1814,5.

传感技术学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-1699

访问量0
|
下载量0
段落导航相关论文