传感技术学报2006，Vol.19Issue(5B)：P.1832-1834,1839,4.
基于强度解调的Fabry-Perot型光纤MEMS压力传感器
摘要
关键词
集成光学/压力传感器/微机电系统/光谱移动分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
葛益娴,王鸣,陈绪兴,李明..基于强度解调的Fabry-Perot型光纤MEMS压力传感器[J].传感技术学报,2006,19(5B):P.1832-1834,1839,4.基金项目
江苏省高技术研究计划项目资助(BG2003024) （BG2003024）
