传感技术学报2006，Vol.19Issue(5B)：P.1885-1888,4.
一种新型的分布式MEMS移相器的小型化设计
摘要
关键词
RF/MEMS/分布式MEMS传输线/金属-绝缘体-金属电容/MEMS金属桥/移相器分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
金博识,吴群,贺训军,唐恺,杨国辉,Lee Jong-Chul..一种新型的分布式MEMS移相器的小型化设计[J].传感技术学报,2006,19(5B):P.1885-1888,4.基金项目
哈尔滨工业大学跨学科交叉性研究基金资助(HITMD.2003.07) （HITMD.2003.07）
