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传感技术学报
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衬底同步加热溅射BST薄膜的研究
衬底同步加热溅射BST薄膜的研究
张龙
林立强
朱健
卓敏
传感技术学报
2006，Vol.19
Issue(5B)：P.1904-1906,1910,4.
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传感技术学报
2006，Vol.19
Issue(5B)
：P.1904-1906,1910,4.
衬底同步加热溅射BST薄膜的研究
张龙
1
林立强
1
朱健
1
卓敏
1
作者信息
1.
南京电子器件研究所,南京210016
折叠
摘要
关键词
同步衬底加热
/
射频磁控溅射
/
钛酸锶钡薄膜
/
居里温度
分类
信息技术与安全科学
引用本文
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张龙,林立强,朱健,卓敏..衬底同步加热溅射BST薄膜的研究[J].传感技术学报,2006,19(5B):P.1904-1906,1910,4.
传感技术学报
OA
北大核心
CSCD
CSTPCD
ISSN：
1004-1699
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