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高模薄膜体声波谐振器(HBAR)的研究

董树荣 王德苗

传感技术学报2006，Vol.19Issue(5B)：P.1927-1929,3.
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传感技术学报2006，Vol.19Issue(5B)：P.1927-1929,3.

高模薄膜体声波谐振器(HBAR)的研究

董树荣 1王德苗1

作者信息

  • 1. 浙江大学信电系,杭州310027
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摘要

关键词

FBAR/HBAR/压电薄膜/射频反应磁控溅射/谐振频率

分类

数理科学

引用本文复制引用

董树荣,王德苗..高模薄膜体声波谐振器(HBAR)的研究[J].传感技术学报,2006,19(5B):P.1927-1929,3.

基金项目

国家自然科学基金资助项目(50172042) （50172042）

传感技术学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-1699

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