传感技术学报2006，Vol.19Issue(5B)：P.1970-1973,4.
集成微流体测控芯片的研制
刘晓为 1王蔚 1田丽 1傅建奇 1陈小洁 1倪鹤南 1曾娟1
作者信息
- 1. 哈尔滨工业大学MEMS中心,哈尔滨150001
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摘要
关键词
微流体/微泵/微流量传感器/温度传感器分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
刘晓为,王蔚,田丽,傅建奇,陈小洁,倪鹤南,曾娟..集成微流体测控芯片的研制[J].传感技术学报,2006,19(5B):P.1970-1973,4.基金项目
国家自然科学基金项目资助(620276038) （620276038）
