传感技术学报2006，Vol.19Issue(5B)：P.2011-2014,4.
激光加工聚合物微流道暂态弹性热应力分析
相恒富 1傅建中 1陈子辰1
作者信息
- 1. 浙江大学机械工程学系微系统研究与发展中心,杭州310027
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摘要
关键词
CO2激光加工/热应力/直写加工/烧蚀算法分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
相恒富,傅建中,陈子辰..激光加工聚合物微流道暂态弹性热应力分析[J].传感技术学报,2006,19(5B):P.2011-2014,4.基金项目
国家863高技术研究发展计划资助项目(2002AA421150) （2002AA421150）
