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CO2激光直写结合湿法刻蚀加工玻璃基微流控芯片

刘晓清 郝苇苇 高巍巍 周勇亮

传感技术学报2006,Vol.19Issue(5B):P.2038-2040,3.
传感技术学报2006,Vol.19Issue(5B):P.2038-2040,3.

CO2激光直写结合湿法刻蚀加工玻璃基微流控芯片

刘晓清 1郝苇苇 1高巍巍 1周勇亮1

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摘要

关键词

微流控芯片/制作/CO2激光/湿法腐蚀

分类

信息技术与安全科学

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刘晓清,郝苇苇,高巍巍,周勇亮..CO2激光直写结合湿法刻蚀加工玻璃基微流控芯片[J].传感技术学报,2006,19(5B):P.2038-2040,3.

传感技术学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-1699

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