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传感技术学报
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CO2激光直写结合湿法刻蚀加工玻璃基微流控芯片
CO2激光直写结合湿法刻蚀加工玻璃基微流控芯片
刘晓清
郝苇苇
高巍巍
周勇亮
传感技术学报
2006,Vol.19
Issue(5B):P.2038-2040,3.
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传感技术学报
2006,Vol.19
Issue(5B)
:P.2038-2040,3.
CO2激光直写结合湿法刻蚀加工玻璃基微流控芯片
刘晓清
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郝苇苇
1
高巍巍
1
周勇亮
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关键词
微流控芯片
/
制作
/
CO2激光
/
湿法腐蚀
分类
信息技术与安全科学
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刘晓清,郝苇苇,高巍巍,周勇亮..CO2激光直写结合湿法刻蚀加工玻璃基微流控芯片[J].传感技术学报,2006,19(5B):P.2038-2040,3.
传感技术学报
OA
北大核心
CSCD
CSTPCD
ISSN:
1004-1699
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